Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) (formerly: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems) (JM3)

Verfügbarkeit: Nicht zugänglich.
Homepage(s): https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-...
Volltext online seit: Jg. 1 (2002)
Verlag: SPIE
ZDB Nummer: 3056313-6
Fachgruppe(n): Elektrotechnik, Mess- und Regelungstechnik
E-ISSN(s): 1932-5134, 2708-8340
P-ISSN(s): 1932-5150
Form: Volltext, Online und Druckausgabe
Kosten: kostenpflichtig
Bemerkung: 1.2002 - 5.2006 u.d.T.: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems.
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